特許
J-GLOBAL ID：201803017065737367

無機光学素子

発明者：
大和田 雅弘

大和田 雅弘 について


出願人/特許権者：
デクセリアルズ株式会社

デクセリアルズ株式会社 について


代理人 (1件)： 野口 信博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-219491
公開番号（公開出願番号）：特開2015-082010
特許番号：特許第6223116号
出願日： 2013年10月22日
公開日（公表日）： 2015年04月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下地膜の平面上に形成され、無機微粒子が積層された柱状部と、柱状部間の空気層である空隙部とを有する斜方蒸着膜と、 前記斜方蒸着膜上に形成され、SiO2からなる保護膜とを備え、 前記斜方蒸着膜が、前記空隙部の保護膜側に前記保護膜の成分が侵入してなる侵入部を有する無機光学素子。
IPC (3件)：
G02B 5/30 ( 200 6.01) ,  G02B 1/10 ( 201 5.01) ,  B32B 7/02 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G02B 5/30 ,  G02B 1/10 ,  B32B 7/02 103
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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