特許
J-GLOBAL ID：201803017816705334
摺動部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
平木 祐輔
, 渡辺 敏章
, 石川 滝治
, 美馬 保彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-190212
公開番号（公開出願番号）：特開2018-053307
出願日： 2016年09月28日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：
【課題】潤滑油中の環境下において、これまでに比べてより低い摩擦係数を確保することができる摺動部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】摺動部材10の非晶質炭素被膜12は、単結合により3つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をAとし、単結合および二重結合により2つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をBとしたときに、非晶質炭素被膜12に対してX線光電子分光分析により得られる非晶質炭素被膜12のA/Bの値が、10以上、18以下となる関係を満たす。摺動部材10の製造方法では、基材11の表面に向けて窒素イオンビームを照射すると共に、カーボンターゲットTに電子ビームEを照射することにより、カーボンターゲットTの一部を基材11の表面に蒸着させながら非晶質炭素被膜12を成膜する。カーボンターゲットTに照射する電子ビームEの出力は、30W以上、50W以下である。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
基材の表面に、窒素原子を含有した非晶質炭素被膜を有し、潤滑油中で摺動する摺動部材であって、
単結合により3つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をAとし、単結合および二重結合により2つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をBとしたときに、前記非晶質炭素被膜に対してX線光電子分光分析により得られる前記非晶質炭素被膜のA/Bの値が、10以上、18以下であることを特徴とする摺動部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/06 F
, C23C14/48 D
4K029AA02
, 4K029AA06
, 4K029AA11
, 4K029BA34
, 4K029BB10
, 4K029BD04
, 4K029CA09
, 4K029DB05
, 4K029DB21
, 4K029EA09
, 4K029FA04
