特許
J-GLOBAL ID：201803018152620189
マイクロメカニカルアクチュエータ装置、及び、マイクロメカニカルアクチュエータ装置の傾動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 森田 拓
, 前川 純一
, 二宮 浩康
, 上島 類
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-514389
公開番号（公開出願番号）：特表2018-530780
出願日： 2016年07月18日
公開日（公表日）： 2018年10月18日
要約：
本発明は、アクチュエータ装置(100;200;300;400)と、アクチュエータ装置の傾動方法とに関する。当該方法は、ローレンツ力(31,32)に基づいてアクチュエータ装置(100;200;300;400)の傾動装置(110;310)のアクチュエータ素子(112;312)を第1の傾動軸(A)に沿って傾動させるように、アクチュエータ装置(100;200;300;400)の永久磁石装置(130-i;230-i;430-i)によって発生した第1の磁界(11)内において、傾動装置(110;310)に配設されている電気的伝送路装置(150;250;350)に電流(I)を流すステップ(S01)と、磁気的吸引及び反発に基づいて傾動装置(110;310)を第2の傾動軸(B)に沿って傾動させるように、アクチュエータ装置(100;200;300;400)の電磁石装置(125,129)によって永久磁石装置(130-i;230-i;430-i)の領域に第2の磁界を発生させるステップ(S02)と、を有する。
請求項（抜粋）：
アクチュエータ素子(112;312)を有する傾動装置(110;310)と、
第1のばね装置(120)と、
保持装置(122)と、
を備えているマイクロメカニカルアクチュエータ装置(100;200;300;400)であって、
前記傾動装置(110;310)は、前記第1のばね装置(120)を介して、第1の傾動軸(A)まわりに傾動可能であるように前記保持装置(122)に接続されており、
前記マイクロメカニカルアクチュエータ装置(100;200;300;400)は、
前記傾動装置(110;310)に配設されている少なくとも1つの電気的伝送路装置(150;250;350)と、
前記保持装置(122)に配置された永久磁石装置(130-i;230-i;430-i)と、
をさらに備えており、
前記電気的伝送路装置(150;250;350)に電流(I)を流したときに、前記永久磁石装置(130-i;230-i;430-i)は、前記傾動装置(110;310)を前記第1の傾動軸(A)まわりに前記保持装置(122)に対して傾動させることができるローレンツ力(31;32)を第1の磁界(11)内に発生させることができるように、当該第1の磁界(11)を発生させるように構成されており、
前記マイクロメカニカルアクチュエータ装置(100;200;300;400)は、
フレーム装置(144)と、
前記保持装置(122)を第2の傾動軸(B)まわりに傾動可能であるように前記フレーム装置(144)に接続する第2のばね装置(140-i)と、
前記保持装置(122)を前記第2の傾動軸(B)まわりに前記フレーム装置(144)に対して傾動可能であるように前記永久磁石装置(130-i;230-i;430-i)に作用する第2の磁界を発生させる電磁石装置(125,159)と、
をさらに備えている、マイクロメカニカルアクチュエータ装置(100;200;300;400)。
IPC (4件)：
G02B 26/10
, G02B 26/08
, B81B 3/00
, H02K 33/16
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, G02B26/10 C
, B81B3/00
, H02K33/16 B
2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC05
, 2H141MD13
, 2H141MD16
, 2H141MF28
, 2H141MZ06
, 3C081BA22
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA54
, 3C081EA07
, 5H633BB03
, 5H633GG02
, 5H633GG04
, 5H633GG06
, 5H633GG09
, 5H633HH03
, 5H633HH05
, 5H633JA02
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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