特許
J-GLOBAL ID：201803018375679002
表面張力を利用したスピン洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人 武和国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-249358
公開番号（公開出願番号）：特開2015-106688
特許番号：特許第6288698号
出願日： 2013年12月02日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被洗浄物を回転させながら洗浄液で洗浄するスピン洗浄装置であって、
前記被洗浄物が設置されるステージと、
前記ステージを周方向に回転させる回転駆動部と、
前記ステージに設置された前記被洗浄物に対向して設けられ、前記ステージに設置された前記被洗浄物上に前記洗浄液、前記被洗浄物上に残った前記洗浄液を除去するためのリンス液、および前記リンス液を前記被洗浄物上から吹き飛ばすためのガスを供給する供給ノズルと、
前記ステージの前記被洗浄物が設置される側の反対側に前記被洗浄物から間隔をあけて設けられ、光を供給して前記被洗浄物を加熱する発光部と、
前記ステージに設置された前記被洗浄物上に、前記洗浄液を前記供給ノズルから供給させる制御部と、を備え、
前記制御部は、前記ステージに設置された前記被洗浄物と前記供給ノズルとの間隔を保持した状態で、前記ステージに設置された前記被洗浄物上に、前記被洗浄物上からこぼれ落ちない程度の所定量の前記洗浄液を供給した状態で前記発光部から光を供給して前記被洗浄物を加熱しつつ前記回転駆動部にて前記ステージを回転させて前記被洗浄物を洗浄してから前記ステージの回転を加速させて前記被洗浄物上の前記洗浄液を吹き飛ばした後、前記被洗浄物上に前記リンス液を供給した状態で前記ステージを回転させて前記被洗浄物上に残った前記洗浄液を除去し、前記被洗浄物上に前記ガスを供給して前記被洗浄物上から前記リンス液を吹き飛ばす
ことを特徴とするスピン洗浄装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/304 643 A
, H01L 21/304 643 D
