撮像装置および検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-217649
公開番号（公開出願番号）：特開2015-078958
特許番号：特許第6267480号
出願日： 2013年10月18日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】相互に対向した一対の対向部と、前記一対の対向部を接続した接続部と、を有した検査対象物の一部を映す鏡と、前記鏡に映った前記検査対象物の鏡像と、前記検査対象物における前記鏡に映っていない部分とを撮像する一つの撮像部と、を備え、前記撮像部と前記鏡とによって構成される光学系のうち、前記一対の対向部間に位置された前記鏡は、二つだけであり、二つの前記鏡のうちの一方は、前記一対の対向部のうちの一方を映し、二つの前記鏡のうちの他方は、前記一対の対向部のうちの他方を映す、撮像装置。

IPC (2件)：