特許
J-GLOBAL ID：201803019157732895

基板の対称面取り方法および装置

発明者：
韓 明 寶

韓 明 寶 について


出願人/特許権者：
コーニング精密素材株式会社

コーニング精密素材株式会社 について


代理人 (2件)： 松永 宣行 ,  辻 徹二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-000615
公開番号（公開出願番号）：特開2018-100216
出願日： 2018年01月05日
公開日（公表日）： 2018年06月28日
要約：
【課題】ハードウェア的な作業がなくても、面取り環境の変動に能動的に対応して、基板の端縁を常に対称的な状態で面取りすることができるようにする。【解決手段】面取りホイールを使用して基板の端縁を面取りするステップと、面取りされた前記基板の端縁の非対称面取偏移(x)を測定するステップと、f(x)(ここで、f(x)は、xを変数とする関数)の大きさ分だけ前記基板に対する前記面取りホイールの相対位置を制御するステップと、を含むサイクルを少なくとも複数回繰り返す。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
面取りホイールを使用して基板の端縁を面取りするステップと、 面取りされた前記基板の端縁の非対称面取偏移(x)を測定するステップと、 f(x)(ここで、f(x)は、xを変数とする関数)の大きさ分だけ前記基板に対する前記面取りホイールの相対位置を制御するステップと、 を含むサイクルを少なくとも複数回繰り返すことを特徴とする基板の対称面取り方法。
IPC (3件)：
C03C 19/00 ,  G01B 11/02 ,  B24B 9/00
FI (3件)：
C03C19/00 Z ,  G01B11/02 H ,  B24B9/00 601B
Fターム (27件)：
2F065AA22 ,  2F065CC17 ,  2F065CC21 ,  2F065CC25 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065NN20 ,  2F065TT08 ,  3C049AA03 ,  3C049AB03 ,  3C049AC02 ,  3C049BA01 ,  3C049BA07 ,  3C049BC01 ,  3C049CA01 ,  3C049CA06 ,  3C049CB03 ,  4G059AA08 ,  4G059AB03 ,  4G059AB13 ,  4G059AB17 ,  4G059AC03 ,  4G059AC30
引用特許：
審査官引用 (8件)
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