特許
J-GLOBAL ID:201803019197349245

ダミーフレーム、凸部部材、ダミーフレームの作製方法、樹脂流動性評価方法、樹脂モールド方法、及びモールド金型の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤元 亮輔
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-055968
公開番号(公開出願番号):特開2014-183140
特許番号:特許第6266888号
出願日: 2013年03月19日
公開日(公表日): 2014年09月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 半導体実装基板に実装したときの半導体チップに樹脂モールドを行った際の封止樹脂を評価するために用いられるダミーフレームであって、 半導体実装基板を模したダミー基板と、 前記ダミー基板に配置可能であって、前記半導体チップを模した別個に製作されたダミーチップと、を有し、 前記ダミーチップ又は前記ダミー基板の少なくともいずれか一方には、少なくとも1つの第1の凸部が形成されており、 前記ダミーチップには、少なくとも1つの凹部が形成されており、 前記凹部には、前記ダミー基板に接着するための接着剤が塗布されており、 前記ダミーチップは、樹脂モールド後、前記第1の凸部は破壊されず維持されるように、前記ダミー基板から取り外し可能であり、前記ダミー基板との間で前記第1の凸部を挟むように前記ダミー基板に取り外し可能に配置された状態で、樹脂モールドを行った際の封止樹脂の流動性および前記ダミーチップと前記ダミー基板との間の樹脂の充填性を評価するために用いられる、 ことを特徴とするダミーフレーム。
IPC (1件):
H01L 21/56 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/56 Z ,  H01L 21/56 T
引用特許:
審査官引用 (6件)
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