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J-GLOBAL ID:201902256048366953   整理番号:19A1796904

フィルターアーク蒸着を使用して調製された極薄多層膜からなる耐摩耗性かつ導電性の窒素含有DLCフィルム

Wear-resistive and electrically conductive nitrogen-containing DLC film consisting of ultra-thin multilayers prepared by using filtered arc deposition
著者 (15件):
資料名:
巻: 58  号: SE  ページ: SEED05.1-SEED05.5  発行年: 2019年06月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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その他の無機化合物の薄膜 
引用文献 (37件):
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