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J-GLOBAL ID：201902256048366953   整理番号：19A1796904

フィルターアーク蒸着を使用して調製された極薄多層膜からなる耐摩耗性かつ導電性の窒素含有DLCフィルム

Wear-resistive and electrically conductive nitrogen-containing DLC film consisting of ultra-thin multilayers prepared by using filtered arc deposition

著者 (15件)： HARIGAI Toru (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TAMEKUNI Koki (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  IIJIMA Yushi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  DEGAI Satoshi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TANIMOTO Tsuyoshi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  SUDA Yoshiyuki (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TAKIKAWA Hirofumi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TAKAGO Shigeki (Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN) ,  YASUI Haruyuki (Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN) ,  KANEKO Satoru (Kanagawa Inst. of Industrial Sci. and Technol., Kanagawa, JPN) ,  KUNITSUGU Shinsuke (Industrial Technol. Center of Okayama Prefecture, Okayama, JPN) ,  HABUCHI Hitoe (Gifu Coll., Gifu, JPN) ,  KAMIYA Masao (Itoh Optical Industrial Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  TAKI Makoto (Onward Ceramic Coating Co., Ltd., Ishikawa, JPN) ,  GONDA Hidenobu (OSG Coating Serv. Co., Ltd., Aichi, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 58  号： SE  ページ： SEED05.1-SEED05.5  発行年： 2019年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *イオンめっき ,  超薄膜 ,  *多層膜 ,  *耐摩耗性 ,  *導電性 ,  窒素 ,  ドーピング ,  DLC膜 ,  反射率 ,  電気伝導率 ,  摩耗試験 ,  *フィルタードアーク蒸着 ,  X線反射率 ,  *機械的性質 ,  *耐性
準シソーラス用語： 極薄膜

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (37件)：

• T. Suenaga, A. Kai, T. Tsubota, H. Nagahata, and Y. Kume, Kumamotoken Sangyo Gijutsu Center 51, 13 (2014), [in Japanese].
• T. Kitagawa and S. Nomura, Kenkyu Hokoku PCT/JP2011/077333, 2012- 06-07 [in Japanese].
• Y. Iijima et al., Jpn. J. Appl. Phys. 57, 01AE07 (2018).
• H. Fukui, J. Okida, N. Omori, H. Moriguchi, and K. Tsuda, Surf. Coatings Technol 187, 70 (2004).
• M. Kano, Tribol. Int. 39, 1682 (2006).

タイトルに関連する用語 (9件)： フィルター ,  アーク蒸着 ,  調製 ,  極 ,  多層膜 ,  耐摩耗性 ,  導電性 ,  窒素 ,  DLCフィルム