DAIGO Yoshiaki について
NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN について
ISHII Shigeaki について
NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN について
KOBAYASHI Takehiko について
NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN について
Japanese Journal of Applied Physics について
化学蒸着 について
炭化ケイ素 について
回転 について
水 について
ホモエピタクシー について
半導体薄膜 について
化合物半導体 について
欠陥密度 について
シラン について
水素 について
窒素 について
塩化水素 について
成長速度 について
キャリア密度 について
顕微鏡観察 について
干渉顕微鏡 について
アルカン について
4H-SiC について
CDIC について
共焦点微分干渉顕微鏡 について
微分干渉顕微鏡 について
半導体薄膜 について
水 について
垂直 について
CVD について
成長 について
4H-SiC について
ホモ について
エピタキシャル膜 について
ウエハ について
均一性 について
欠陥密度 について
SI比 について