特許
J-GLOBAL ID：201903007054233946

半導体ウエハーの試験ユニット

発明者：
宮川 末晴

宮川 末晴 について


出願人/特許権者：
合同会社PLESON

合同会社PLESON について


代理人 (1件)： 松本 秀治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-044813
公開番号（公開出願番号）：特開2019-087720
出願日： 2018年03月12日
公開日（公表日）： 2019年06月06日
要約：
【課題】半導体ウエハーの端子とプローブカードの端子をウエハートレー上で高精度に位置合せし、ウエハートレーの高さを低くすることにより多段構成の検査装置を可能にし、且つ低コストの製作が可能になる、半導体ウ エハーの試験ユニットを提供する。 【解決手段】ウエハートレー20は、ウエハー搭載ステージ29をX方向及びY方向に移動・制御するX-Y位置制御機構50と、前記ウエハー搭載ステージ29を円周方向に移動・制御するシータ制御機構52を備え、前記X-Y位置制御機構50と前記シータ制御機構52を個々に且つ相互に制御することができ、半導体ウエハーの端子とプローブピンとの位置合せを高精度に行うことができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
プローブカードを有したテスターボードと、 半導体ウエハーを搭載するウエハートレーと、 前記ウエハートレーを昇降させる昇降機構とを備え、 前記半導体ウエハーと前記プローブカードとを加圧接触させて試験を実施する半導体ウエハーの試験ユニットであり、 前記ウエハートレーは、 トレーフレームと、 ウエハー搭載ステージと、 円周方向スライド機構を有したウエハー搭載ステージ支持体とで構成され、 前記ウエハー搭載ステージを直交するX軸またはY軸の方向に移動させ、その移動量を制御するX-Y位置制御機構と、 前記ウエハー搭載ステージを円周方向に移動させ、その移動量を制御するシータ制御機構とを備えることを特徴とする、半導体ウエハーの試験ユニット。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28
FI (3件)：
H01L21/66 B ,  G01R31/26 Z ,  G01R31/28 J
Fターム (23件)：
2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AG11 ,  2G003AG16 ,  2G003AG20 ,  2G003AH05 ,  2G132AE03 ,  2G132AF02 ,  2G132AF06 ,  2G132AL03 ,  2G132AL13 ,  4M106AA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD13 ,  4M106DD23 ,  4M106DH44 ,  4M106DH45 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (12件)
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