特許
J-GLOBAL ID：201903007679980650
極端紫外光生成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-554466
特許番号：特許第6577871号
出願日： 2013年12月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 内部でターゲットにレーザ光が照射されると極端紫外光が生成されるチャンバと、
前記チャンバの内部に前記ターゲットを供給するターゲット供給部と、
ターゲット回収部とを備え、
前記ターゲット回収部は、
前記ターゲット供給部によって供給され前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを衝突させるフィルタと、
前記ターゲットとの接触角が90°以下の材料で形成され、前記フィルタを通過した前記ターゲットを衝突させて破壊する受面と、
を備え、
前記フィルタは、金属箔によって形成され、
前記フィルタは複数設けられ、
前記複数のフィルタは、前記ターゲットの進行経路に対して傾斜して配置され、
前記フィルタの傾斜方向は、複数のフィルタごとで異なる
極端紫外光生成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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