特許
J-GLOBAL ID：201903016401998841
プラズマ処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩崎 重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-183621
公開番号（公開出願番号）：特開2018-049896
特許番号：特許第6609535号
出願日： 2016年09月21日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】金属製の処理室にて試料をプラズマエッチングするプラズマ処理方法において、
プラズマを用いて前記試料をエッチングし、
前記試料のエッチング後、前記処理室をプラズマクリーニングし、
前記プラズマクリーニング後、COSガスとO2ガスの混合ガスまたはSO2ガスとO2ガスの混合ガスを用いて前記処理室をプラズマ処理することを特徴とするプラズマ処理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, H05H 1/46 ( 200 6.01)
H01L 21/302 101 H
, H05H 1/46 B
