特許
J-GLOBAL ID：201903019353164045

フラットパネルディスプレイ用配線膜、およびAl合金スパッタリングターゲット

発明者：
後藤 裕史

後藤 裕史 について

, 
岩成 裕美

岩成 裕美 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人栄光特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-155844
公開番号（公開出願番号）：特開2019-016797
出願日： 2018年08月22日
公開日（公表日）： 2019年01月31日
要約：
【課題】400°C以上500°C以下の高温の熱履歴を受けたとしても、配線抵抗の上昇が抑えられ、ヒロックなどの発生もなく耐熱性に優れたフラットパネルディスプレイ用配線膜、および当該配線膜の形成に用いられるスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】本発明のフラットパネルディスプレイ用配線膜は、基板上に形成されるフラットパネルディスプレイ用の配線膜であって、前記配線膜は、Mo、Ti、Cr、W、およびTaよりなる群から選択される少なくとも一種以上の高融点金属を含む第一層と;希土類元素及びNiをそれぞれ0.01原子%以上含み、かつ前記希土類元素及びNiの合計の含有量が0.055原子%以下であるAl合金からなる第二層とが積層された積層構造からなるものである。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
基板上に形成されるフラットパネルディスプレイ用の配線膜であって、 前記配線膜は、Mo、Ti、Cr、W、およびTaよりなる群から選択される少なくとも一種以上の高融点金属を含む第一層と; 希土類元素及びNiをそれぞれ0.01原子%以上含み、かつ前記希土類元素及びNiの合計の含有量が0.055原子%以下であるAl合金からなる第二層とが積層された積層構造からなることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用配線膜。
IPC (6件)：
H01L 21/28 ,  H01L 21/285 ,  H01L 29/786 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/34 ,  C22C 21/00
FI (8件)：
H01L21/28 301R ,  H01L21/28 301B ,  H01L21/285 S ,  H01L29/78 612C ,  C23C14/14 G ,  C23C14/34 A ,  C23C14/14 B ,  C22C21/00 A
Fターム (58件)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA23 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  4K029GA01 ,  4M104AA01 ,  4M104AA03 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB38 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD78 ,  4M104DD79 ,  4M104FF17 ,  4M104GG08 ,  4M104HH03 ,  4M104HH05 ,  4M104HH16 ,  4M104HH20 ,  5F110AA03 ,  5F110BB01 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK21 ,  5F110HK33 ,  5F110HK42 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HL23 ,  5F110HL27
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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