特許

J-GLOBAL ID：201903019909821350

表面処理方法及び装置

発明者： 大下 貴也 ,  上原 剛 ,  青山 哲平 ,  山村 和也 ,  大久保 雄司 ,  小玉 欣典
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社 ,  国立大学法人大阪大学
代理人 (3件)： 渡辺 昇 ,  原田 三十義 ,  青野 哲巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-019880
公開番号（公開出願番号）：特開2019-137731
出願日： 2018年02月07日
公開日（公表日）： 2019年08月22日
要約：

【課題】フッ素系樹脂の密着性を改善できる処理方法を提供する。【解決手段】一対の電極11,21どうし間に形成された大気圧近傍の処理空間1aにフッ素系樹脂を含む被処理物9を配置する。Arなどの放電生成ガスを含有するプロセスガスをプロセスガスノズル14から処理空間1aに供給する。かつ添加部33によってプロセスガスにH2Oを添加する。電極11,12どうし間に電圧を印加して放電を生成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フッ素系樹脂を含む被処理物を表面処理する方法であって、 一対の電極どうし間に形成された大気圧近傍の処理空間に前記被処理物を配置する工程と、 前記処理空間に放電生成ガスを含有するプロセスガスを供給する工程と、 前記プロセスガスにH2Oを添加する工程と、 前記一対の電極どうし間に電圧を印加して前記処理空間内に放電を生成する工程と、 を含むことを特徴とする表面処理方法。

IPC (1件)：

C08J 7/00

FI (2件)：

C08J7/00 303 ,  C08J7/00

Fターム (11件)：

4F073AA01 ,  4F073BA16 ,  4F073BB01 ,  4F073CA01 ,  4F073CA08 ,  4F073CA11 ,  4F073CA65 ,  4F073CA71 ,  4F073CA72 ,  4F073HA01 ,  4F073HA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フッ素樹脂成形体及びフッ素樹脂成形体表面改質方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-061845   出願人：国立大学法人豊橋技術科学大学, 大研化学工業株式会社
• 大気圧プラズマ処理装置及び大気圧プラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-117582   出願人：株式会社ウインズ
• フッ素樹脂の表面改質方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-208454   出願人：積水化学工業株式会社