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J-GLOBAL ID：202002259078966403   整理番号：20A0844417

階層型微細機能構造創製に関する研究(第2報)-インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御-

著者 (4件)： 増井周造 (東大) ,  道畑正岐 (東大) ,  高増潔 (東大) ,  高橋哲 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A10  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ・マイクロスケールの階層的な構造が有する,機械的・光学的機能が注目を集めている.本研究では,そういったスケール横断的な構造がもつ特有の形状・光学応答に着目し,新規機能性素子の創成を目指す.本法では,ナノ・マイクロ二重周期構造の造形を目的とし,干渉リソグラフィーのインプロセス干渉縞計測による,露光条件の制御を実験的に検討した.(著者抄録)

シソーラス用語： *階層構造 ,  *微細構造 ,  *構造形成 ,  *インプロセス測定 ,  *干渉縞 ,  リソグラフィー ,  *露光 ,  *最適制御 ,  分析 ,  *気体レーザ ,  *レーザ応用 ,  干渉リソグラフィ ,  He-Cdレーザ ,  実験的分析 ,  *計測
準シソーラス用語： *微細組織 ,  実験解析

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  システム設計・解析  (IA02030D)

引用文献 (5件)：

• J. F. Lepage, and N. McCarthy, Appl. Opt., 43(17), 3504-3512, (2004).
• Kinoshita H., et al. J. Vac. Sci. Technol. A, 1(4), 1276-1279, (1983).
• S. H. Zaidi, and S. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B, 11(3), 658-666, (1993).
• S. Sohail, et al., J. Vac. Sci. Technol. B, 12(6), 3600-3606, (1994).
• J. E. Harvey, and R. N. Pfisterer, Opt. Eng., 58(8), 087105, (2019).

タイトルに関連する用語 (9件)： 階層 ,  創製 ,  研究 ,  プロセス ,  干渉縞 ,  計測 ,  多重 ,  干渉リソグラフィー ,  露光制御