特許
J-GLOBAL ID：202003001694010806

ポンプ装置の動作状態の監視方法

発明者：
セルジュ ブランドラン

セルジュ ブランドラン について


出願人/特許権者：
ファイファー バキユーム

ファイファー バキユーム について


代理人 (3件)： 竹沢 荘一 ,  竹ノ内 勝 ,  横堀 芳徳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-567354
公開番号（公開出願番号）：特表2020-522643
出願日： 2018年05月15日
公開日（公表日）： 2020年07月30日
要約：
【解決手段】本発明は、ポンプ装置(5)の動作不良状態を判定するために、処理室(2)に接続されたポンプ装置(5)の動作状態を監視する方法に関する。このポンプ装置は、少なくとも1つの粗引き真空ポンプ(7)と、この粗引き真空ポンプ(7)を駆動するモータ(M1)と、このモータ(M1)の回転速度を制御するように構成され、一方で設定点周波数(C)に対応する第1の入力パラメータとモータ電流(i)に対応する第2の入力パラメータを受け取り、他方で制御周波数(F)に対応する出力パラメータをモータ(M1)に提供する可変速度駆動装置(12)とを備えている。この監視方法は、定常運転(H)において、前記第1の入力パラメータと前記出力パラメータの差が、3秒より長い所定の時間(T)の間、前記第1の入力パラメータの10%以上である場合、ポンプ装置が故障した動作状態にあると判定する。本発明は、ポンプ装置及び設備にも関する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ポンプ装置(5)の故障した動作状態を判定するために、処理室(2)に接続された前記ポンプ装置(5)の動作状態を監視する方法であって、前記ポンプ装置(5)は、少なくとも1つの粗引き真空ポンプ(7)を備えており、 前記ポンプ装置(5)は、 前記粗引き真空ポンプ(7)を駆動するモータ(M1)と、 前記モータ(M1)の回転速度を制御するように構成された可変速度駆動装置(12)とを備え、前記可変速度駆動装置(12)は、一方で設定点周波数(C)に対応する第1の入力パラメータとモータ電流(i)に対応する第2の入力パラメータを受け取り、他方では制御周波数(F)に対応する出力パラメータを前記モータに供給するように構成されており、 前記方法は、 定常運転(H)において、前記第1の入力パラメータと前記出力パラメータの差が、3秒を超える所定の時間(T)の間、前記第1の入力パラメータの10%以上である場合、前記ポンプ装置が故障した動作状態にあると判定することを特徴とするポンプ装置の動作状態の監視方法。
IPC (1件)：
F04B 49/10
FI (2件)：
F04B49/10 331K ,  F04B49/10 331L
Fターム (17件)：
3H145AA05 ,  3H145AA15 ,  3H145AA25 ,  3H145AA38 ,  3H145AA42 ,  3H145BA42 ,  3H145CA09 ,  3H145CA21 ,  3H145CA25 ,  3H145DA07 ,  3H145EA17 ,  3H145EA20 ,  3H145EA34 ,  3H145EA35 ,  3H145EA50 ,  3H145FA17 ,  3H145FA28
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM