特許

J-GLOBAL ID：202003001817976913

露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法

発明者： 内藤 一夫 ,  青木 保夫 ,  長島 雅幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-510221
特許番号：特許第6727554号
出願日： 2016年03月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 投影光学系を介して物体に照明系からの光を射出し、前記物体に対して前記照明系及び前記投影光学系を走査方向に相対移動させ前記物体に対して走査露光を行い、所定パターンを前記物体上に形成する露光装置であって、 前記照明系を前記走査方向へ移動させる第1駆動系と、 前記投影光学系を前記走査方向へ移動させる第2駆動系と 前記第1および第2駆動系により前記照明系及び前記投影光学系を前記走査方向へ移動させるための位置に関する情報を取得する取得部と、 前記走査露光において、前記情報に基づいて前記照明系及び前記投影光学系の位置関係の変化が所定範囲内に収まるように前記第1および第2駆動系を制御する制御系と、を備え、 前記取得部は、前記投影光学系を通過する光を受光する受光部を有し、 前記第1駆動系は、前記投影光学系に対する前記照明系からの光の入射位置が第1位置から第2位置へ移動するように前記照明系を移動させ、 前記取得部は、前記光の入射位置が前記第1及び第2位置のときの前記受光部の受光結果に基づいて前記情報を取得する露光装置。

IPC (1件)：

G03F 9/00 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G03F 9/00 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-069990   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-282872   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-116933   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置、露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-132802   出願人：サンエー技研株式会社