特許

J-GLOBAL ID：201403032184267882

露光装置、露光方法

発明者： 三宅 健 ,  高木 俊博
出願人/特許権者： サンエー技研株式会社
代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  富田 博行 ,  星野 修 ,  上田 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-132802
公開番号（公開出願番号）：特開2013-257409
出願日： 2012年06月12日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：

【課題】 露光技術の生産性を向上する。【解決手段】 露光装置は、(1)基板を保持する第1の基板保持部を備え、第1の待機位置と、露光面が第1の方向を向いた状態で基板が配置される第1の露光位置との間で、第1の基板保持部を移動させる第1の移動部と、(2)基板を保持する第2の基板保持部を備え、第2の待機位置と、露光面が、第1の方向を向いた状態、かつ、第1の露光位置の基板の露光面と、第1の方向と直交する第2の方向に並んだ状態で、第2の基板保持部に保持された基板が配置される第2の露光位置との間で、第2の基板保持部を移動させる第2の移動部と、(3)第2の方向に沿って配置されたガイドに沿って第1の露光位置と第2の露光位置との間を移動可能な露光ヘッドを備え、第1の露光位置に配置された基板と、第2の露光位置に配置された基板とを選択的に露光する露光部とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を露光する露光装置であって、 前記基板を保持する第1の基板保持部を備え、第1の待機位置と、前記第1の基板保持部に保持された前記基板の露光面が第1の方向を向いた状態で該基板が配置される第1の露光位置との間で、前記第1の基板保持部を移動させる第1の移動部と、 前記基板を保持する第2の基板保持部を備え、前記第1の待機位置とは異なる第2の待機位置と、第2の露光位置であって、前記第2の基板保持部に保持された前記基板の露光面が、前記第1の方向を向いた状態、かつ、前記第1の露光位置に配置された前記基板の前記露光面と、前記第1の方向と直交する第2の方向に並んだ状態で、前記第2の基板保持部に保持された前記基板が配置される第2の露光位置との間で、前記第2の基板保持部を移動させる第2の移動部と、 前記第2の方向に沿って配置されたガイドに沿って、前記第1の露光位置と前記第2の露光位置との間を移動可能な露光ヘッドを備え、前記第1の露光位置に配置された前記基板と、前記第2の露光位置に配置された前記基板とを、前記露光ヘッドの前記第2の方向に沿った移動によって、選択的に露光する露光部と を備えた露光装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 ,  G02F 1/13 ,  H05K 3/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G03F7/20 505 ,  G02F1/13 101 ,  H05K3/00 G ,  H05K3/00 H ,  H01L21/68 K

Fターム (25件)：

2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H097AA01 ,  2H097AA04 ,  2H097CA03 ,  2H097CA17 ,  2H097DB07 ,  5F131AA12 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131EA02 ,  5F131EA13 ,  5F131EA15 ,  5F131EA22 ,  5F131FA17 ,  5F131KA14 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KB22 ,  5F131KB53

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-223087   出願人：株式会社オーク製作所
• 描画装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-023961   出願人：富士フイルム株式会社
• 描画装置及び描画方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-176660   出願人：富士フイルムホールディングス株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-167407   出願人：富士写真フイルム株式会社
• パターン描画装置およびパターン描画方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-067527   出願人：大日本スクリーン製造株式会社