特許
J-GLOBAL ID：202003002467993174

光照射触媒基準エッチング装置

発明者：
鈴木 英資

鈴木 英資 について

, 
鈴木 辰俊

鈴木 辰俊 について

, 
鈴木 大介

鈴木 大介 について


出願人/特許権者：
東邦エンジニアリング株式会社

東邦エンジニアリング株式会社 について


代理人 (2件)： 加藤 竜太 ,  芝 哲央
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-163885
公開番号（公開出願番号）：特開2020-035989
出願日： 2018年08月31日
公開日（公表日）： 2020年03月05日
要約：
【課題】強度を確保できると共に紫外線照射部からの光を透過可能な定盤を備える光照射触媒基準エッチング装置を提供すること。【解決手段】光照射触媒基準エッチング装置100、200は、被加工物の加工に有効な波長の光を出射する光照射部125、225と、光照射部125、225から出射された光が通過する1又は複数の定盤側貫通開口141、211aを有し、光照射部により出射された光を透過させることに適さない材料により形成される定盤140、210と、定盤の上方側に配置され、光が通過する1又は複数の底板側貫通開口151a、221aを有する底板を備える桶部150、220と、1又は複数の底板側貫通開口151a、221aを塞ぐように桶部150、220に配置される光透過部材157、212と、桶部150、220における底板151、221の上方側に配置されるパッド部155、240と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光照射触媒基準エッチングに用いられ、被加工物の加工に有効な波長の光を出射する光照射部と、 前記光照射部から出射された光が通過する1又は複数の定盤側貫通開口を有し、前記光照射部により出射された光を透過させることに適さない材料により形成される定盤と、 前記定盤の上方側に配置され、前記光照射部により出射された光が通過する1又は複数の底板側貫通開口を有する底板を備える桶部と、 前記1又は複数の底板側貫通開口を塞ぐように前記桶部に配置される光透過部材と、 前記桶部における前記底板の上方側に配置されるパッド部と、を備える光照射触媒基準エッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306 ,  B01J 23/42
FI (3件)：
H01L21/306 M ,  H01L21/306 J ,  B01J23/42 M
Fターム (14件)：
4G169AA03 ,  4G169BA13A ,  4G169BB02A ,  4G169BC68A ,  4G169BC75A ,  4G169CD10 ,  4G169DA05 ,  4G169EA30 ,  5F043AA05 ,  5F043BB30 ,  5F043DD08 ,  5F043DD10 ,  5F043EE08 ,  5F043FF07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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