特許
J-GLOBAL ID：202003002711989010
位置検出方法及び光モジュール
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-210890
公開番号（公開出願番号）：特開2018-072516
特許番号：特許第6704833号
出願日： 2016年10月27日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定方向に沿って移動する可動部の位置を検出する位置検出方法であって、
前記可動部に設けられた可動ミラー、及び、位置が固定されたビームスプリッタを有する干渉光学系において、検出光が第1光と第2光とに分割される第1ステップと、
前記可動ミラー及び前記ビームスプリッタによって前記干渉光学系に形成された回帰光路に、前記第1光が入射する第2ステップと、
前記回帰光路において、前記第1光が前記可動ミラーを介して前記ビームスプリッタに至る度に、前記第1光の一部が前記ビームスプリッタを透過すると共に前記第1光の残部が前記ビームスプリッタで反射されて前記可動ミラーを介して前記ビームスプリッタに至る第3ステップと、
前記干渉光学系において、前記ビームスプリッタを透過した前記第1光と、前記第2光とが合成され、多重干渉光が生成される第4ステップと、
前記多重干渉光の第1干渉光信号から、前記検出光の波長の1/p(pは自然数)の波長を有する第2干渉光信号が抽出される第5ステップと、
前記第2干渉光信号に基づいて、前記所定方向における前記可動部の位置が算出される第6ステップと、を備える、位置検出方法。
IPC (4件)：
G02B 26/06 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01J 3/45 ( 200 6.01)
G02B 26/06
, G01B 11/00 G
, G01B 9/02
, G01J 3/45
