特許
J-GLOBAL ID：202003003117719203

渦電流センサの軌道を特定する方法、基板の研磨の進行度を算出する方法、基板研磨装置の動作を停止する方法および基板研磨の進行度を均一化する方法、これらの方法を実行するためのプログラムならびに当該プログラムが記録された非一過性の記録媒体

発明者：
中村 顕

中村 顕 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  宮前 徹 ,  鐘ヶ江 幸男 ,  渡邊 誠 ,  奈良 大地
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-119242
公開番号（公開出願番号）：特開2019-217617
出願日： 2018年06月22日
公開日（公表日）： 2019年12月26日
要約：
【課題】基板研磨装置の研磨テーブルに設けられた渦電流センサの軌道を特定することを一つの目的とする。【解決手段】研磨テーブルと、研磨ヘッドと、を備える基板研磨装置における、基板から見た渦電流センサの軌道を特定する方法であって、センサ出力マップを3次元データとして取得する段階と、基板を研磨する段階と、研磨中信号のプロファイルを2次元データとして取得する段階と、2次元データである研磨中信号のプロファイルと最も類似したプロファイルを有する軌道を、3次元データであるセンサ出力マップから抽出し、抽出された軌道を基板から見た渦電流センサの軌道として特定する段階と、を備える、基板から見た渦電流センサの軌道を特定する方法。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
渦電流センサが設けられた研磨テーブルであって、回転可能に構成された研磨テーブルと、 前記研磨テーブルに対向し、回転可能に構成された研磨ヘッドであって、前記研磨テーブルと対向する面に基板を取り付け可能である研磨ヘッドと、 を備える基板研磨装置における、基板から見た渦電流センサの軌道を特定する方法であって、 基板の被研磨面の全面に対する前記渦電流センサの出力信号を表すマップであるセンサ出力マップを3次元データとして取得する段階と、 基板を取り付けた前記研磨ヘッドと、前記研磨テーブルとを回転させながら、前記基板を前記研磨テーブルに押し付けて前記基板を研磨する段階と、 前記基板が研磨されている間に前記渦電流センサが出力する信号である、研磨中信号のプロファイルを2次元データとして取得する段階と、 2次元データである前記研磨中信号のプロファイルと最も類似したプロファイルを有する軌道を、3次元データである前記センサ出力マップから抽出し、抽出された軌道を前記基板から見た前記渦電流センサの軌道として特定する段階と、 を備える、基板から見た渦電流センサの軌道を特定する方法。
IPC (3件)：
B24B 37/013 ,  B24B 49/10 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B37/013 ,  B24B49/10 ,  H01L21/304 622K ,  H01L21/304 622S
Fターム (31件)：
3C034AA19 ,  3C034BB92 ,  3C034CA30 ,  3C034CB03 ,  3C034DD10 ,  3C158AA07 ,  3C158AC04 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158ED00 ,  5F057AA03 ,  5F057AA20 ,  5F057BA22 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EB01 ,  5F057FA19 ,  5F057FA36 ,  5F057FA41 ,  5F057GA12 ,  5F057GA16 ,  5F057GA17 ,  5F057GA27 ,  5F057GB02 ,  5F057GB03 ,  5F057GB13 ,  5F057GB20
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM