特許
J-GLOBAL ID：202003004208232060

ウエハ処理装置およびウエハ処理装置用のシーリングリング

発明者：
ディーター・アルベルト

ディーター・アルベルト について

, 
ミヒャエル・ブラウン

ミヒャエル・ブラウン について


出願人/特許権者：
ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング について


代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  竹内 三喜夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-038695
公開番号（公開出願番号）：特開2016-200277
特許番号：特許第6723765号
出願日： 2016年03月01日
公開日（公表日）： 2016年12月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエハ処理装置(10)のカバーリング(16)に取り付けるためのシーリングリング(24)であって、環状キャリア(40)と環状キャリア(40)に取り外し可能で取り付けられたシーリングリップ(42)を有し、 前記シーリングリップ(42)が、キャリア(40)中の溝(50)に取り付けられ、 前記シーリングリップ(42)が、溝(50)から、キャリア(40)の上側の一部を越え、そして円錐状座面(54)の上を超え、その自由端がキャリア(40)の下側を超えてはみ出るまで延びているシーリングリング(24)。
IPC (2件)：
F16J 15/06 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (3件)：
F16J 15/06 E ,  F16J 15/06 H ,  H01L 21/68 N
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 基板ホルダ及びめっき装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-148077   出願人：株式会社荏原製作所
  • シール部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-037890   出願人：ミライアル株式会社
審査官引用 (5件)
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