極端紫外光生成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：保坂延寿
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-548477
特許番号：特許第6748730号
出願日： 2016年11月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】所定領域に向けてターゲットを出力するターゲット供給部と、前記ターゲットに照射される第1レーザ光と、前記第1レーザ光が照射された前記ターゲットに照射される第2レーザ光と、前記第2レーザ光が照射された前記ターゲットに照射される第3レーザ光と、を出力するレーザシステムと、少なくとも前記第3レーザ光の光路において前記ターゲットを構成する元素のイオンの密度が1016 atoms/cm3以下になった後に前記第3レーザ光が前記ターゲットに照射されるように、前記レーザシステムを制御する制御部と、を備える極端紫外光生成装置。

IPC (2件)：