極端紫外光センサユニット及び極端紫外光生成装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-514032
特許番号：特許第6751138号
出願日： 2016年04月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】極端紫外光を反射するミラーと、前記ミラーによって反射された前記極端紫外光を透過するフィルタと、前記フィルタを透過した前記極端紫外光を検出する光センサと、前記ミラーと前記フィルタとの間にパージガスを供給するよう配置されたパージガス供給部と、前記ミラーに入射させる前記極端紫外光を含むプラズマ光及び前記パージガス供給部から供給された前記パージガスを通過させる管部であって、前記プラズマ光の光入射口となる開口部を有し、前記開口部から入射する前記プラズマ光を前記ミラーに向けて通過させるとともに、前記ミラーと前記フィルタとの間を流れた前記パージガスを前記開口部から流出させる管部と、を備え、前記パージガス供給部のガス流出口は、前記ミラーに向かって開口している極端紫外光センサユニット。

IPC (2件)：