特許
J-GLOBAL ID：201003005862757880

極端紫外光光源装置および極端紫外光光源装置の保守方法

発明者：
薮田 泰伸

薮田 泰伸 について

, 
成廣 善三

成廣 善三 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-320767
公開番号（公開出願番号）：特開2010-147138
出願日： 2008年12月17日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
【課題】極端紫外光の放射強度分布の変化が、集光鏡の光反射率が低下したことに起因するか、発光点が移動して光軸がすれたことに起因するかを判別すること。【解決手段】電極11,12間にパルス状の大電流を流し、高温プラズマ領域を形成し、波長13.5nmのEUV光を放射させる。このEUV光は、集光鏡2により集光され、アパーチャ4を介して露光機へ入射する。計測時には、計測ユニット18を光路内へ移動させ、EUVとEUVよりも長波長の光の放射強度分布を計測する。極端紫外光の放射強度分布のみが変化している場合は、放射強度分布変化の原因はスズが集光鏡の反射面に付着しためであるとして集光鏡2のクリーニングを行う。また、極端紫外光よりも長波長の光の放射強度分布も変化している場合は、放射強度分布変化の原因は光軸のずれが生じているためであるとして、放電部と集光鏡の位置合せ(アライメント)等を行なう。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
容器と、 この容器内に極端紫外光を放射させるための原料を供給する原料供給手段と、 上記原料を放電により上記容器内で加熱励起し高温プラズマを発生させる放電部と、上記高温プラズマから放射される極端紫外光を反射して集光する集光光学手段とを備えた極端紫外光光源装置において、 上記極端紫外光光源装置は、 上記集光光学手段により反射された光に含まれる極端紫外光と極端紫外光よりも長波長の光のそれぞれの放射強度分布を測定する測定器と、 上記測定器により測定した放射強度分布を記憶する記憶手段と、記憶した放射強度分布と測定した放射強度分布を比較する比較手段とを備えた制御部とを備え、 上記測定器は上記集光光学手段の集光点の後ろの光路に挿入退避可能に設けられていることを特徴とする極端紫外光光源装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  H05G 2/00
FI (2件)：
H01L21/30 531S ,  H05G1/00 K
Fターム (11件)：
4C092AA04 ,  4C092AB19 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  4C092BD20 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DB11 ,  5F046DC02 ,  5F046GA14 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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