基板収納容器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂本智弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-223877
公開番号（公開出願番号）：特開2020-088279
出願日： 2018年11月29日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：

【課題】弁体を開閉させる部材と、バルブ体を構成する部品のいずれか一つと、を一体化して部品点数を削減するとともに、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供する。【解決手段】基板収納容器に取り付けられるバルブ体40は、弁体42と、弁体42を格納するブロック体41と、弁体42を付勢する弁付勢体43と、を有するものである。また、ブロック体41は、弁体42を格納する弁格納空間411aと、弁体42が着座する弁座面416と、を含み、弁付勢体43は、弁体42を付勢する弾性部432と、弁体42をガイドする軸部433と、を含んでもよい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、前記バルブ体は、弁体と、前記弁体を格納するブロック体と、前記弁体を付勢する弁付勢体と、を有する、ことを特徴とする基板収納容器。

IPC (5件)：

H01L 21/673 , B65D 85/30 , B65D 81/20 , F16K 24/00 , F16K 15/06

FI (5件)：

H01L21/68 T , B65D85/30 500 , B65D81/20 F , F16K24/00 E , F16K15/06

Fターム (52件)：

3E067AA13 , 3E067AB38 , 3E067AC03 , 3E067AC11 , 3E067BA01A , 3E067BB14A , 3E067BC06A , 3E067BC07A , 3E067CA04 , 3E067EA32 , 3E067EB27 , 3E067EE56 , 3E067FA01 , 3E067FC01 , 3E067GA19 , 3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA30 , 3E096DB06 , 3E096DC04 , 3E096EA02X , 3E096FA22 , 3E096GA05 , 3H055AA02 , 3H055AA22 , 3H055BA17 , 3H055CC07 , 3H058AA02 , 3H058BB22 , 3H058CA04 , 3H058CA22 , 3H058CD01 , 3H058EE05 , 5F131AA02 , 5F131AA22 , 5F131CA37 , 5F131CA47 , 5F131GA13 , 5F131GA54 , 5F131GA73 , 5F131GA74 , 5F131GA83 , 5F131GA84 , 5F131GA85 , 5F131GA88 , 5F131JA32 , 5F131JA33 , 5F131JA34

引用特許：

審査官引用 (4件)

逆止弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-369004 出願人：日本ピラー工業株式会社
基板収納容器の弁アセンブリ
公報種別：公表公報出願番号：特願2017-529293 出願人：インテグリス・インコーポレーテッド
流体密封流路を備えた基板容器
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-508637 出願人：インテグリス・インコーポレーテッド

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