特許
J-GLOBAL ID：201803013575367690

基板収納容器の弁アセンブリ

発明者：
フラー, マシュー エー.

フラー, マシュー エー. について

, 
スミス, マーク ヴイ.

スミス, マーク ヴイ. について

, 
キング, ジェフリー ジェイ.

キング, ジェフリー ジェイ. について

, 
バーンズ, ジョン

バーンズ, ジョン について


出願人/特許権者：
インテグリス・インコーポレーテッド

インテグリス・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-529293
公開番号（公開出願番号）：特表2018-505546
出願日： 2015年12月01日
公開日（公表日）： 2018年02月22日
要約：
基板収納容器は、開いた側部又は底部を有する収納容器部と、開いた側部又は底部を密閉して閉鎖するドアとを含み、ドア及び収納容器部の一方は、アクセス構造を画定する。基板収納容器は、その上逆止弁アセンブリを含み、逆止弁アセンブリは、アクセス構造に対して係止され、基板収納容器の内部との流体連通を提供する。逆止弁アセンブリは、グロメットを含み、グロメットは、エラストマ材料で形成される。弁座が、グロメット内部に配置され、弁座は、一態様によれば、グロメットと一体的に形成され、かつもう1つの態様によれば、別個の部品から形成される。エラストマ弁部材、具体的には一態様によれば、エラストマアンブレラ弁部材は、グロメット内部に配置され、かつ弁座を係合させるために保持され、それにより基板収納容器の内部に対して逆止弁アセンブリを通る流体の流れを制限する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
基板収納容器であって、 開いた側部又は底部を有する収納容器部と、 前記開いた側部又は底部を密閉して閉鎖するドアであって、前記ドア及び前記収納容器部の一方が、アクセス構造を画定するドアと、 ウエハを保持するための複数のウエハ棚であって、前記ドア及び収納容器部の一方に位置決めされる棚と、 ツーピース逆止弁アセンブリであって、前記アクセス構造に対して係止され、前記基板収納容器の内部との流体連通を提供する逆止弁アセンブリとを含み、前記逆止弁アセンブリが、 エラストマ材料で形成されたグロメットと、 前記グロメット内部に配置されたエラストマ弁座であって、前記グロメットと一体的に形成されたエラストマ弁座と、 前記グロメット内部に配置されたエラストマ弁部材であって、前記基板収納容器の前記内部に対して前記逆止弁アセンブリを通る流体の流れを制限するために前記エラストマ弁座と係合可能であり、かつ前記基板収納容器の前記内部に対して前記逆止弁アセンブリを通る流体の流れを可能にするために前記エラストマ弁座から離脱可能なエラストマ弁部材とを含む、基板収納容器。
IPC (4件)：
H01L 21/673 ,  B65D 85/30 ,  F16K 15/14 ,  F16K 51/00
FI (4件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/30 Z ,  F16K15/14 A ,  F16K51/00 B
Fターム (44件)：
3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA03 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096FA08 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096GA20 ,  3H058AA14 ,  3H058BB03 ,  3H058BB33 ,  3H058CA22 ,  3H058CB04 ,  3H058CB14 ,  3H058CB18 ,  3H058CC06 ,  3H058CC11 ,  3H058CC17 ,  3H058EE05 ,  3H058EE19 ,  3H066AA01 ,  3H066BA38 ,  5F131AA02 ,  5F131CA12 ,  5F131DA05 ,  5F131GA14 ,  5F131GA15 ,  5F131GA63 ,  5F131GA76 ,  5F131GA83 ,  5F131GA87 ,  5F131GA92 ,  5F131JA04 ,  5F131JA23 ,  5F131JA24 ,  5F131JA32 ,  5F131JA33 ,  5F131JA35
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM