特許
J-GLOBAL ID:202003007475394222

ガス分析用前処理装置及びガス分析用前処理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 西浦 ▲嗣▼晴 ,  ▲高▼見 良貴 ,  出山 匡
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-217844
公開番号(公開出願番号):特開2017-106903
特許番号:特許第6765117号
出願日: 2016年11月08日
公開日(公表日): 2017年06月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】 抽出対象ガスが溶存した試料水から水を捕捉して準抽出対象ガスを精製する水捕捉セクションと、 前記準抽出対象ガス中の非抽出対象ガスを吸着する吸着セクションとからなるガス分析用前処理装置であって、 前記水捕捉セクションが、 第1のトラップ路内にある前記試料水を、前記抽出対象ガスが凝集しない第1の温度で冷却し、液相を除去して、水蒸気を含む準抽出対象ガスを精製し、前記第1のトラップ路内を第1の真空環境にする第1のコールドトラップと、 前記第1のコールドトラップで精製されて第2のトラップ路内にある前記水蒸気を含む準抽出対象ガスを、前記水蒸気を凝集させるが、前記抽出対象ガスは凝集しない、前記第1の温度よりも低温である第2の温度で冷却し、前記水蒸気を除去して水蒸気を含まない準抽出対象ガスを精製し、前記第2のトラップ路内を前記第1の真空環境よりも真空度の高い第2の真空環境にする第2のコールドトラップとを含んでおり、 前記吸着セクションが、 ゲッター配置路内にある前記準抽出対象ガス中から、ハロゲン化合物を吸着する第1のゲッターを備えた第1の吸着セクションと、前記第1の吸着セクションで吸着処理された前記準抽出対象ガス中から硫黄化合物を吸着する第2のゲッターを備えた第2の吸着セクションとを含んでおり、前記ゲッター配置路内を前記第2の真空環境よりも真空度の高い第3の真空環境にすることを特徴とするガス分析用前処理装置。
IPC (7件):
G01N 1/10 ( 200 6.01) ,  G01N 1/22 ( 200 6.01) ,  B01J 20/02 ( 200 6.01) ,  B01J 20/04 ( 200 6.01) ,  B01J 20/06 ( 200 6.01) ,  G01N 1/34 ( 200 6.01) ,  C01B 23/00 ( 200 6.01)
FI (8件):
G01N 1/10 J ,  G01N 1/22 P ,  G01N 1/22 L ,  B01J 20/02 B ,  B01J 20/04 C ,  B01J 20/06 C ,  G01N 1/34 ,  C01B 23/00 Z
引用特許:
審査官引用 (6件)
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引用文献:
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