特許
J-GLOBAL ID：202003007857809180
光変調器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鷲頭 光宏
, 緒方 和文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-031794
公開番号（公開出願番号）：特開2020-134873
出願日： 2019年02月25日
公開日（公表日）： 2020年08月31日
要約：
【課題】光変調素子を小型化や多重化した場合でも電極損失が低く高周波特性が良好であり、光導波路に印加される電界効率の向上により低電圧駆動が可能な光変調器を提供する。【解決手段】光変調器100は、基板1と、基板1上にリッジ状に形成された電気光学材料膜からなり、互いに隣り合う第1及び第2の光導波路10a,10bと、第1及び第2の光導波路10a,10bの上面を覆うバッファ層4と、バッファ層4の上方に第1及び第2の光導波路10a,10bと対向して設けられた第1及び第2の信号電極7a,7bとを備え、第1の信号電極7aから見て第2の信号電極7bと反対側の第1の信号電極7aの近傍領域及び第2の信号電極7bから見て第1の信号電極7aと反対側の第2の信号電極7bの近傍領域には接地電極が配置されておらず、第1及び第2の信号電極7a,7bには差動信号が印加される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に設けられた少なくとも一つの相互作用部とを備え、
前記相互作用部は、
前記基板上にリッジ状に形成された電気光学材料膜からなり、互いに隣り合う第1及び第2の光導波路と、
前記第1及び第2の光導波路の上面を覆うバッファ層と、
前記バッファ層の上方に前記第1及び第2の光導波路と対向して設けられた第1及び第2の信号電極とを備え、
前記第1の信号電極から見て前記第2の信号電極と反対側の前記第1の信号電極の近傍領域及び前記第2の信号電極から見て前記第1の信号電極と反対側の前記第2の信号電極の近傍領域には接地電極が配置されておらず、
前記第1及び第2の信号電極には差動信号が印加されることを特徴とする光変調器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2K102AA22
, 2K102BA02
, 2K102BB01
, 2K102BB04
, 2K102BC04
, 2K102BD01
, 2K102CA04
, 2K102CA05
, 2K102CA06
, 2K102CA21
, 2K102DA05
, 2K102DB04
, 2K102DB05
, 2K102DC08
, 2K102DD05
, 2K102EA03
, 2K102EA12
