チャック、基板保持装置、パターン形成装置、及び物品の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：阿部琢磨 , 黒岩創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-109651
公開番号（公開出願番号）：特開2017-216375
特許番号：特許第6758920号
出願日： 2016年06月01日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を保持するチャックであって、基部と、前記基部上に配置され、凸部と凹部との繰り返し構造をそれぞれ有する第1支持部及び第2支持部と、を有し前記第1支持部及び前記第2支持部のうち少なくとも一つの支持部は、4つの凸部と前記4つの凸部の間に設けられた3つの凹部を有し、前記4つの凸部のそれぞれが前記基板と当接した状態で、前記3つの凹部のそれぞれと前記基板とに囲まれる3つの空間の気圧が、前記基部、前記第1支持部、前記第2支持部、及び前記基板に囲まれる空間の気圧よりも低くなるように前記3つの空間が排気されることにより前記基板を保持することを特徴とするチャック。

IPC (2件)：