走査プローブ顕微鏡の走査ヘッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：加藤久 , 遠坂啓太 , 南瀬透
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-152877
公開番号（公開出願番号）：特開2019-035752
特許番号：特許第6713512号
出願日： 2018年08月15日
公開日（公表日）： 2019年03月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】走査プローブ顕微鏡の走査ヘッドであって、対向配置され、第一受入空間及び第二受入空間をそれぞれ形成する第一端部及び第二端部と、軸とを有する走査ヘッドフレームと、前記第一受入空間内に位置するサンプルテーブルと、前記第二受入空間内に位置し、前記走査ヘッドフレームの軸に沿って移動する走査モジュールと、前記走査ヘッドフレームの前記第二端部に取り付けられる複数の固定電極と、を備え、前記サンプルテーブルは、サンプル片をクランプする可動サンプルクランプと、前記可動サンプルクランプが平面内を移動するようにする駆動装置と、前記駆動装置に接続し、前記走査ヘッドフレームの前記第一端部に取り付けられる固定部材と、前記固定部材上に取り付けられた3つの引出電極と、を備えることを特徴とする走査プローブ顕微鏡の走査ヘッド。

IPC (2件)：

G01Q 30/00 ( 201 0.01) , G01Q 10/00 ( 201 0.01)

FI (2件)：

G01Q 30/00 , G12B 1/00 601 H

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-095803
走査型トンネル顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-156060 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-125903

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