特許
J-GLOBAL ID：202003010695548434

研磨パッド及びその製造方法、並びに研磨加工品の製造方法

発明者：
柏田 太志

柏田 太志 について

, 
高木 正孝

高木 正孝 について


出願人/特許権者：
富士紡ホールディングス株式会社

富士紡ホールディングス株式会社 について


代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-185264
公開番号（公開出願番号）：特開2020-055047
出願日： 2018年09月28日
公開日（公表日）： 2020年04月09日
要約：
【課題】立ち上がり時間が短縮された研磨パッド及びその製造方法、並びに当該研磨パッドを用いた研磨加工品の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】不織布と該不織布に含浸した樹脂とを含む樹脂含浸不織布からなるドーナツ型円盤状の研磨パッドであって、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を前記円盤の外周に有し、研磨部のノッチ部と接触する面の界面の展開面積比(Sdr)が1.0〜1.2である、研磨パッド。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
不織布と該不織布に含浸した樹脂とを含む樹脂含浸不織布からなるドーナツ型円盤状の研磨パッドであって、 ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を前記円盤の外周に有し、 前記研磨部の前記ノッチ部と接触する面の界面の展開面積比(Sdr)が1.0〜1.2である、 研磨パッド。
IPC (3件)：
B24B 37/24 ,  B24B 9/00 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B37/24 E ,  B24B37/24 C ,  B24B9/00 601H ,  H01L21/304 621E
Fターム (19件)：
3C049AA03 ,  3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049CA01 ,  3C049CB03 ,  3C049CB10 ,  3C158AA03 ,  3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CB03 ,  3C158CB10 ,  3C158DA17 ,  3C158EA28 ,  3C158EB19 ,  3C158EB20 ,  3C158EB28 ,  3C158EB29 ,  5F057AA24 ,  5F057CA22
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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