カーボンナノ粒子の製造方法

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-158138
公開番号（公開出願番号）：特開2020-033577
出願日： 2018年08月27日
公開日（公表日）： 2020年03月05日
要約：

【課題】カーボンナノ粒子を容易に製造できる製造方法及び製造装置の提供。【解決手段】チャンバ内に複数の貫通孔を有するマルチホロー放電電極101及び炭素ターゲットを保持するスパッタ電極102を配置し、マルチホロー放電電極101及びスパッタ電極102と対向する位置に基材301を配置し、炭素を含む原料ガスを貫通孔を通してチャンバ105内に供給すると共に、マルチホロー放電電極101に高周波電力を供給して、貫通孔を通過する原料ガスをプラズマ化して基材301にカーボンナノ粒子を堆積させるカーボンナノ粒子の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チャンバ内に、複数の貫通孔を有するマルチホロー放電電極を配置し、炭素を含む原料ガスを前記貫通孔を通して前記チャンバ内に供給すると共に、前記マルチホロー放電電極に高周波電力を供給して、前記貫通孔を通過する前記原料ガスをプラズマ化する、カーボンナノ粒子の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/26 , C23C 14/06 , C01B 32/154

FI (3件)：

C23C16/26 , C23C14/06 F , C01B32/154

Fターム (44件)：

4G146AA01 , 4G146AA19 , 4G146AB01 , 4G146AB07 , 4G146AC01B , 4G146AC02B , 4G146AC15B , 4G146AC16B , 4G146AC23B , 4G146AD17 , 4G146AD30 , 4G146AD35 , 4G146BA12 , 4G146BC03 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC27 , 4G146BC29 , 4G146BC38B , 4G146DA02 , 4G146DA16 , 4G146DA23 , 4G146DA25 , 4G146DA35 , 4G146DA40 , 4G146DA41 , 4G146DA45 , 4G146DA48 , 4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA34 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029CA06 , 4K029DC02 , 4K029DC35 , 4K030AA09 , 4K030BA27 , 4K030BB01 , 4K030BB12 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA01 , 4K030HA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

PVD・CVD両用成膜装置及び当該装置を用いた成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-358471 出願人：株式会社神戸製鋼所
ナノ構造体の生成方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-522038 出願人：エドワーズリミテッド
炭素膜及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-230459 出願人：日新電機株式会社

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