特許
J-GLOBAL ID：202003014470208931

プラズマ処理装置、アンテナ導体又は/及び導電性部材の製造方法

発明者：
鈴木 泰雄

鈴木 泰雄 について

, 
渡邉 正則

渡邉 正則 について


出願人/特許権者：
株式会社プラズマイオンアシスト

株式会社プラズマイオンアシスト について


代理人 (3件)： 西村 竜平 ,  齊藤 真大 ,  上村 喜永
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-179418
公開番号（公開出願番号）：特開2020-053169
特許番号：特許第6708887号
出願日： 2018年09月25日
公開日（公表日）： 2020年04月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被処理物が収容される真空チャンバと、 前記真空チャンバ内にプラズマを発生させるための誘導結合型アンテナユニットと、 前記誘導結合型アンテナユニットに高周波電力を供給する高周波電源とを備え、 前記誘導結合型アンテナユニットが、1又は複数のアンテナ導体と、前記真空チャンバの壁面に形成された開口を塞ぐ蓋体とを有しており、 前記1又は複数のアンテナ導体が、放電を起こす隙間を介さずに前記蓋体に取り付けられており、 前記アンテナ導体の長手方向中央部に高周波電力の給電端子が接続されるとともに、前記アンテナ導体の長手方向両端部が接地されており、 前記給電端子を介して前記アンテナ導体の長手方向中央部に高周波電力が供給されており、 前記誘導結合型アンテナユニットが、 前記蓋体の外周部を支持する枠体と、 前記蓋体の前記アンテナ導体が取り付けられる面とは反対側の面に前記アンテナ導体と平行に設けられた導電性部材とをさらに備え、 前記アンテナ導体の長手方向端部が前記枠体と電気的に接続されるとともに、前記導電性部材の一方の端部が前記枠体と電気的に接続され、前記導電性部材の他方の端部が整合器の接地端子に接続されており、 前記アンテナ導体、前記枠体、及び前記導電性部材が、前記アンテナ導体の長手方向中央部に供給された前記高周波電力に対する往復回路を構成していることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (1件)：
H05H 1/46 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H05H 1/46 L
引用特許：
審査官引用 (4件)
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