特許
J-GLOBAL ID：201803019373838134
誘導結合型アンテナユニット及びプラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-245036
公開番号（公開出願番号）：特開2018-101463
出願日： 2016年12月19日
公開日（公表日）： 2018年06月28日
要約：
【課題】真空チャンバに着脱が容易で処理チャンバ内に高密度な放電プラズマを生成する誘導結合型アンテナユニットを提供する。また、これらのアンテナユニットを複数個用いた任意の面積で生産性の高いプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】本願誘導結合型アンテナユニットは、プラズマ処理装置の真空チャンバの壁面に設けられた開口部に気密を保持して装着されるアンテナユニットであって、1又は複数の誘導結合型アンテナ導体と、前記開口部を覆う蓋体とからなり、前記アンテナ導体を前記蓋体の内面にほぼ平行に配置し、前記アンテナ導体の中央部を高周波電源に接続し、前記アンテナ導体の両端部を前記蓋体に固定し、該蓋体を介して接地電位に接続する。前記アンテナユニットを前記真空チャンバ壁に設けた開口部に容易に着脱できる構造とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プラズマ処理装置等の真空チャンバの壁面に設けられた開口部に気密を保持して装着される誘導結合型アンテナユニットであって、1又は複数の誘導結合型アンテナ導体と、気密を保持して前記開口部を覆う蓋体とからなり、前記アンテナ導体が前記蓋体の内面にほぼ平行に配置され、前記アンテナ導体の中央部が給電端子板に接続され、前記アンテナ導体の両端部が前記蓋体に固定され、当該蓋体を介して接地電位に接続されていることを特徴とする誘導結合型アンテナユニット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
2G084BB02
, 2G084BB05
, 2G084BB13
, 2G084BB25
, 2G084BB26
, 2G084BB30
, 2G084BB36
, 2G084CC13
, 2G084CC33
, 2G084DD03
, 2G084DD12
, 2G084DD17
, 2G084DD22
, 2G084DD25
, 2G084DD32
, 2G084DD62
, 2G084DD65
, 2G084DD66
, 2G084FF22
, 2G084FF23
, 2G084FF32
