誘電体バリア放電イオン化検出器

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：野口大輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-009204
公開番号（公開出願番号）：特開2020-118532
出願日： 2019年01月23日
公開日（公表日）： 2020年08月06日
要約：

【課題】誘電体管内において沿面放電を発生しにくくすることで大型にならない検出器を提供する。【解決手段】管軸に沿う方向に互いに間隔をもって配置された一対の電極14、16が外壁に取り付けられた誘電体からなる誘電体管8を有するBIDであって、誘電体管8の内部で第1端から導入されたプラズマ生成ガスに誘電体バリア放電を発生させてプラズマを生成する放電部2と、プラズマから発せられる光を利用して成分をイオン化する試料ガスを導入するための試料ガス導入部31及び生成されたイオンを収集するための収集電極26を有する検出部4と、一対の電極14、16の間に電位差を生じさせる電圧印加部6と、を備える。電圧印加部6は、一対の電極14、16の間が周期的に所定の最大電位差に達するようにそれぞれの電位を変動させるように構成された回路部38、40を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

誘電体管を有し、前記誘電体管の外壁に一対の電極が取り付けられており、前記一対の電極は前記誘電体管の管軸に沿う方向に互いに間隔をもって配置され、前記誘電体管の第1端からプラズマ生成ガスが導入され、前記誘電体管の内部で誘電体バリア放電を発生させてプラズマを生成する放電部と、試料ガスを導入するための試料ガス導入部及びイオンを収集するための収集電極を有し、前記放電部において生成されたプラズマから発せられる光を利用して前記試料ガス中の成分をイオン化し、生成されたイオンを前記収集電極により収集して検出する検出部と、前記一対の電極の間に電位差を生じさせる電圧印加部と、を備え、前記電圧印加部は、交流電源、及び、前記交流電源に接続され、前記一対の電極の間の電位差が周期的に所定の最大電位差に達するように、前記一対の電極のそれぞれの電位を変動させるように構成された回路部を備えている、誘電体バリア放電イオン化検出器。

IPC (2件)：

G01N 27/70 , H05H 1/24

FI (2件)：

G01N27/70 , H05H1/24

Fターム (16件)：

2G041CA04 , 2G041DA07 , 2G041EA06 , 2G084AA27 , 2G084BB35 , 2G084CC03 , 2G084CC19 , 2G084CC20 , 2G084CC32 , 2G084DD17 , 2G084DD22 , 2G084DD38 , 2G084EE15 , 2G084EE16 , 2G084EE21 , 2G084EE28

引用特許：

審査官引用 (4件)

誘電体バリア放電ランプ駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-373154 出願人：ハリソン東芝ライティング株式会社
誘電体バリア放電イオン化検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-175501 出願人：株式会社島津製作所, 国立大学法人大阪大学
放電管駆動装置及び回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-260651 出願人：マイクロスペース株式会社, 太陽誘電株式会社

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