特許
J-GLOBAL ID：202003016435787298

配向性圧電体膜、およびその製造方法、並びに、液体吐出ヘッド

発明者：
大橋 良太

大橋 良太 について

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小谷 佳範

小谷 佳範 について

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小林 本和

小林 本和 について

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清水 千恵美

清水 千恵美 について

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内田 文生

内田 文生 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について

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富士化学株式会社

富士化学株式会社 について


代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-116857
公開番号（公開出願番号）：特開2019-220573
出願日： 2018年06月20日
公開日（公表日）： 2019年12月26日
要約：
【課題】低ヤング率と(111)配向を両立したチタン酸バリウム系膜を提供する。【解決手段】下記一般式(1) Ba1-xCaxTi1-yZryO3(0≦x≦0.2、0≦y≦0.2)(1)で表されるペロブスカイト型結晶によって構成される配向性圧電体膜であって、前記配向性圧電体膜が(111)面に配向した配向性下地上に形成され、前記配向性圧電体膜が、膜面に対し(111)面に配向した第一の結晶粒と、ランダムに配向した第二の結晶粒とを含み、前記第一の結晶粒が300〜600nmの平均粒径を有し、前記第二の結晶粒が50〜200nmの平均粒径を有することを特徴とする、配向性圧電体膜を用いる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
下記一般式(1) Ba1-xCaxTi1-yZryO3(0≦x≦0.2、0≦y≦0.2)(1) で表されるペロブスカイト型結晶によって構成される配向性圧電体膜であって、 前記配向性圧電体膜が(111)面に配向した配向性下地上に形成され、 前記配向性圧電体膜が、膜面に対し(111)面に配向した第一の結晶粒と、ランダムに配向した第二の結晶粒とを含み、 前記第一の結晶粒が300〜600nmの平均粒径を有し、 前記第二の結晶粒が50〜200nmの平均粒径を有することを特徴とする、配向性圧電体膜。
IPC (9件)：
H01L 41/187 ,  H01L 41/319 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/318 ,  H01L 41/43 ,  H01L 41/09 ,  C30B 29/32 ,  C04B 35/468 ,  B41J 2/14
FI (10件)：
H01L41/187 ,  H01L41/319 ,  H01L41/047 ,  H01L41/318 ,  H01L41/43 ,  H01L41/09 ,  C30B29/32 A ,  C04B35/468 200 ,  B41J2/14 613 ,  B41J2/14 305
Fターム (14件)：
2C057AF52 ,  2C057AG43 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077AB02 ,  4G077BC42 ,  4G077CA01 ,  4G077CA03 ,  4G077ED04 ,  4G077HA11 ,  4G077JA06
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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