組成分析方法及び組成分析装置、硬度算出方法及び硬度算出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：堀城之 , 前島幸彦 , 村上大勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-199316
公開番号（公開出願番号）：特開2020-067337
出願日： 2018年10月23日
公開日（公表日）： 2020年04月30日
要約：

【課題】金属を主成分とする材料中のO、Bの組成や材料の硬度を非接触で精密に算出できる。【解決手段】図5の関係より、上記の方法で算出された(B/O)/M値のみからビッカース硬度を推定することは一般的には困難である。しかしながら、試料が図5におけるZを挟んだどちらの領域にあるかを判定することができれば、(B/O)/M値からビッカース硬度を推定することができる。前記の通り、図5におけるZよりも左側の領域はOの組成比が大きな場合であり、Zよりも右側の領域はBの組成比が大きな場合に対応する。このため、前記のO/M値、B/M値に応じてこの試料がどちらの領域に属するかを認識することができる。結局、(B/O)/M値から前記の一次式を用いてビッカース硬度を算出することができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

試料における金属元素に対するホウ素(B)及び酸素(O)の組成比を算出する組成分析方法であって、レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)によって前記試料をプラズマ化し、当該プラズマからの発光スペクトルを取得する発光スペクトル取得工程と、前記発光スペクトルにおける、前記金属元素に対応するピークの強度である第1の強度と、208.9nmの波長に対応するホウ素(B)の単一のピークの強度である第2の強度と、酸素(O)の複数のピークが含まれる776.8nm〜777.8nmの波長帯の平均強度である第3の強度と、を算出し、前記第2の強度の前記第1の強度の対する比率であるB/M値から前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比を、前記第3の強度の前記第1の強度に対する比率であるO/M値から前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を、それぞれ算出する分析工程と、を具備することを特徴とする組成分析方法。

IPC (1件)：

G01N 21/71

FI (1件)：

G01N21/71

Fターム (15件)：

2G043AA01 , 2G043AA06 , 2G043BA01 , 2G043BA02 , 2G043BA07 , 2G043CA05 , 2G043EA10 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043NA01 , 2G043NA04 , 2G043NA05 , 2G043NA06

引用特許：

審査官引用 (4件)

レーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-258001 出願人：クヮンジュ・インスティテュート・オブ・サイエンス・アンド・テクノロジー
レーザ光による成分分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-299878 出願人：三菱重工業株式会社
試料を分析する方法およびシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願2014-556621 出願人：マテリアリティクス,エルエルシー

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