レーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須藤浩 , 海田浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-258001
公開番号（公開出願番号）：特開2014-119457
出願日： 2013年12月13日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：

【課題】本発明は、レーザープラズマ分光法において、レーザープラズマスペクトルのピークが非常に近く重畳する場合にもその強度を計算することができ、また、分析対象元素の濃度の高い場合、優れた精度と再現性を有するピークを探す方法を提供するためのものである。【解決手段】本発明のレーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法は、測定対象元素を含む試料にレーザービームを照射してプラズマを発生させ、プラズマから発生する分光スペクトルを得て、分光スペクトルで少なくとも1つの測定対象ピークを除外する領域の合わせ曲線を得て、分光スペクトルで合わせ曲線を除外して少なくとも1つの測定対象ピークが含まれる測定対象ピーク曲線を分離して得て、合わせ曲線と前記測定対象ピーク曲線で各々選択される特定波長のピーク強度を計算し、各々選択される特定波長のピーク強度の割合で測定対象元素の組成比率を得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象元素を含む試料にレーザービームを照射してプラズマを発生させ、前記プラズマから発生する分光スペクトルを得るステップと、前記分光スペクトルで、少なくとも1つの測定対象ピークを除外する領域の合わせ曲線を得るステップと、前記分光スペクトルで、前記合わせ曲線を除外して前記少なくとも1つの測定対象ピークが含まれる測定対象ピーク曲線を分離して得るステップと、前記合わせ曲線と前記測定対象ピーク曲線で、各々選択される特定波長のピーク強度を計算するステップと、前記各々選択される特定波長のピーク強度を用いて、前記測定対象元素の組成比率を得るステップと、を含むことを特徴とする、レーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法。

IPC (1件)：

G01N 21/63

FI (1件)：

G01N21/63 Z

Fターム (8件)：

2G043AA01 , 2G043BA01 , 2G043EA10 , 2G043FA06 , 2G043JA01 , 2G043KA03 , 2G043NA01 , 2G043NA11

引用特許：

審査官引用 (9件)

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公報種別：公表公報出願番号：特願2001-536563 出願人：コーニングインコーポレイテッド
特開昭62-233744
薬剤検証および識別のための分光的特徴抽出
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-525133 出願人：オプトポインコーポレーテッドディー/ビー/エーセンタイスコーポレーション

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