静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：永井冬紀 , 池田恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-106230
公開番号（公開出願番号）：特開2020-202613
出願日： 2019年06月06日
公開日（公表日）： 2020年12月17日
要約：

【課題】コスト低減を図ることができる静電型デバイスの提供。【解決手段】振動発電素子1は、固定部11と、可動部12と、可動部12と一体に形成され、可動部12を弾性支持する弾性支持部13と、固定部11および弾性支持部13が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部10と、を備える。振動発電素子の製造方法は、前記固定部、前記可動部および前記弾性支持部を基板に一体状態で形成し、前記ベース部と基板とを陽極接合して前記固定部および前記弾性支持部を前記ベース部に固定し、前記基板をエッチングして前記固定部と前記弾性支持部とを互いに分離する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定部と、可動部と、前記可動部と一体に形成され、前記可動部を弾性支持する弾性支持部と、前記固定部および前記弾性支持部が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部と、を備える静電型デバイス。

IPC (3件)：

H02N 1/00 , B81B 3/00 , B81C 3/00

FI (3件)：

H02N1/00 , B81B3/00 , B81C3/00

Fターム (17件)：

3C081AA17 , 3C081BA07 , 3C081BA22 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081CA02 , 3C081CA05 , 3C081CA14 , 3C081CA29 , 3C081CA33 , 3C081DA03 , 3C081DA04 , 3C081DA06 , 3C081DA43 , 3C081EA41

引用特許：

審査官引用 (11件)

発電デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-164678 出願人：パナソニック電工株式会社
調整可能なMEMSエタロン
公報種別：公表公報出願番号：特願2018-501866 出願人：テクノロジーイノベーションモメンタムファンド(イスラエル)リミテッドパートナーシップ
電子デバイス及びその製造方法、並びに電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-124576 出願人：セイコーエプソン株式会社

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