特許
J-GLOBAL ID：202003021460721815
測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
福島 祥人
, 中川 雅博
, 澤村 英幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-127056
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004281
特許番号：特許第6736383号
出願日： 2016年06月27日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ステージ保持部と、
上下方向の回転軸を中心に回転可能に前記ステージ保持部により保持され、前記回転軸に対して非垂直でかつ測定対象物が載置される傾斜載置面を有するステージと、
前記ステージに載置される測定対象物にパターンを有する測定光を照射する投光部と、前記測定対象物により反射された測定光を受光して受光量を表す受光信号を出力する受光部とを含むヘッド部と、
前記ヘッド部と前記ステージ保持部とを連結することにより、前記投光部から前記測定対象物に対して測定光が斜め下方に導かれ、かつ前記受光部の光軸が前記測定対象物に向かって斜め下方に延びるとともに、前記投光部と前記受光部と前記ステージとの位置関係が定まるように、前記ヘッド部と前記ステージ保持部とを固定的に連結する連結部と、
前記ステージの回転を制御する回転制御手段と、
前記受光部により出力される受光信号に基づいて、前記測定対象物の立体形状を表す点群データを生成する点群データ生成手段と、
前記点群データ生成手段により生成された点群データに基づいて、計測の基準となる基準面を設定する基準面設定手段と、
前記測定対象物の計測すべき箇所の指定を受け付け、前記点群データ生成手段により生成された点群データに基づいて、指定された箇所の計測値を前記基準面設定手段により設定された基準面を基準として算出する計測手段とを備え、
前記受光部は、前記光軸に対して垂直な撮像面を有し、
前記回転制御手段は、指示に基づいて前記傾斜載置面が前記受光部の前記撮像面と正対するように、前記ステージを予め記憶された第1の回転位置に位置させ、
前記投光部は、前記ステージが前記第1の回転位置に位置する状態で、前記ステージに載置された測定対象物に二次元状に測定光を照射し、
前記点群データ生成手段は、前記ステージが前記第1の回転位置に位置する状態で、前記受光部から出力される受光信号に基づいて二次元状の点群データを生成する、測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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