特許
J-GLOBAL ID：202103000606997613
圧電膜を有する積層基板、圧電膜を有するデバイスおよび圧電膜を有するデバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
福岡 昌浩
, 橘高 英郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-093961
公開番号（公開出願番号）：特開2018-189584
特許番号：特許第6872966号
出願日： 2017年05月10日
公開日（公表日）： 2018年11月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板上に製膜された圧電膜と、
所定の粒子を捕獲するトラップ部と、を備え、
前記圧電膜は、組成式(K1-xNax)NbO3(0<x<1)で表されるペロブスカイト構造のアルカリニオブ酸化物からなり、
前記圧電膜を構成する結晶群のうち80%以上の結晶が前記基板の表面に対して(001)面方位に配向してなり、
少なくとも前記基板の一部および前記圧電膜により共振部が構成され、
前記共振部は、所定の電圧が印加されると所定の周波数で撓み振動するように構成されており、
前記トラップ部は、前記共振部に設けられており、
前記共振部を撓み振動させた状態で、前記トラップ部が粒子を捕獲すると、前記共振部の周波数が変化する、圧電膜を有する積層基板。
IPC (4件)：
G01N 5/02 ( 200 6.01)
, H01L 41/113 ( 200 6.01)
, H01L 41/253 ( 201 3.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
G01N 5/02 A
, H01L 41/113
, H01L 41/253
, H01L 41/187
