特許
J-GLOBAL ID：202103005673809335

電気めっきMEMS構造の高融点シード金属

発明者：
ブルーワー,ジョレイン・エイリーン

ブルーワー,ジョレイン・エイリーン について

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ケイメル,クリストファー・フレッド

ケイメル,クリストファー・フレッド について

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エイミ,マルコ・フランセスコ

エイミ,マルコ・フランセスコ について

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ミニック,アンドリュー・ジェームス

ミニック,アンドリュー・ジェームス について

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ラファロ,レナー・ステファン

ラファロ,レナー・ステファン について


出願人/特許権者：
ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ について


代理人 (4件)： 関口 一哉 ,  荒川 聡志 ,  小倉 博 ,  田中 拓人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-511120
特許番号：特許第6820913号
出願日： 2016年07月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 微小電気機械システム(MEMS)デバイス(10)であって、 基板(24)と、 前記基板(24)に形成された自立吊り下げ型電気めっき金属MEMS構造(14)とを含み、前記自立吊り下げ型電気めっき金属MEMS構造(14)は、 前記基板(24)に機械的に結合された機械要素(16)と、 前記機械要素(16)に機械的に結合されて電気的に連通し、高融点金属および高融点金属合金の少なくとも1つを含むシード層(20)と、 前記シード層(20)によって覆われていない前記機械要素(16)の少なくとも1つの追加の表面に形成される前記機械要素(16)に機械的に結合された保護層(40)とを含み、 前記機械要素(16)の厚さは、前記シード層(20)の厚さより実質的に厚く、それにより前記自立吊り下げ型電気めっき金属MEMS構造(14)の機械的および電気的特性は、前記機械要素(16)の材料特性によって規定され、自立構造(16)の残留応力と前記自立構造(16)の厚さの積が前記シード層(20)の残留応力と厚さの積の3倍を超える、MEMSデバイス(10)。
IPC (3件)：
B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01) ,  H01H 59/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  H01H 59/00
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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