特許
J-GLOBAL ID：202103006778890967
研磨層と類似の硬度を有するウィンドウを含む研磨パッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
SK特許業務法人
, 奥野 彰彦
, 伊藤 寛之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-558518
特許番号：特許第6912599号
出願日： 2018年07月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 貫通ホールが形成された研磨層と、
前記貫通ホール内に挿入されたウィンドウとを含み、
前記ウィンドウと前記研磨層との湿潤硬度差が0.1ショアD〜12ショアD(shore D)であり、
前記湿潤硬度は、水に30分間浸漬した後に測定した表面硬度であり、
前記ウィンドウと研磨層との湿潤硬度減少率の差が1ショアD/°C〜5ショアD/°Cであり、
前記湿潤硬度減少率が下記数学式1で計算される、
[数1]
る、研磨パッド。
IPC (3件)：
B24B 37/24 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, C08G 18/10 ( 200 6.01)
B24B 37/24 A
, H01L 21/304 622 F
, B24B 37/24 C
, C08G 18/10
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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