化学機械研磨(CMP)ツールで用いる研磨パッドの窓

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐野良太 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-501623
公開番号（公開出願番号）：特表2003-535484
出願日： 2001年06月04日
公開日（公表日）： 2003年11月25日
要約：

【要約】本発明は、ウエハの前面に対する平坦化プロセスの際に用いられる窓(700)を研磨パッド(100)に作製するための装置および方法である。窓(700)が求められる位置で研磨パッドに穴を形成する。研磨パッドの作業面に第1の剥離フィルム(300)を押し付けることにより、穴の一方の端を覆う。機械的、化学的および光学的な特性が適切な窓の材料を穴に注型する。穴の他方の端を覆う第2の剥離フィルム(500)を研磨パッド(100)の底面に押し付ける。窓の材料は、光によって硬化し、短時間で窓を形成して穴に結合するものであることが好ましい。注型窓(700)を研磨パッド(100)に残して剥離フィルム(300,500)を取り除くことができる。

請求項（抜粋）：

作業面と底面とを含む研磨パッドに窓を形成するための方法であって、 a)研磨パッド上の窓が求められる位置で研磨パッドに穴を形成するステップと、 b)前記穴に窓の材料を充填するステップと、 c)前記窓の材料を光化学的に硬化させ、上面と底面とを持つ窓を前記穴の内側に形成するステップと、を含む方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 , B24B 37/00

FI (2件)：

H01L 21/304 622 F , B24B 37/00 C

Fターム (5件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CA01 , 3C058CB02 , 3C058DA12

引用特許：

審査官引用 (5件)

機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドへの透明窓の形成
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-221737 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
研磨パッド
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-509557 出願人：ローデルインコーポレイテッド
研磨部材及び研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-251475 出願人：株式会社ニコン

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