特許
J-GLOBAL ID:202103008292374773

液体吐出装置、インプリント装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-192141
公開番号(公開出願番号):特開2018-051496
特許番号:特許第6808426号
出願日: 2016年09月29日
公開日(公表日): 2018年04月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 大気圧に対して内部が負圧に維持されるノズルを有し、該ノズルから第一の液体を吐出する吐出ヘッドと、 前記第一の液体を収容する第一の液体収容部と、 第二の液体を収容する第二の液体収容部と、 前記第一の液体収容部の内部空間を、前記吐出ヘッドに連通し、前記第一の液体を収容する第一の収容空間と、前記第二の液体収容部と連通し、前記第二の液体を収容する第二の収容空間とに区画する可撓性部材と、を備え、 前記ノズルから前記第一の液体が吐出されると前記第二の液体が前記第二の液体収容部から前記第二の収容空間に供給される液体吐出装置であって、 前記第二の収容空間と前記第二の液体収容部との間で、前記第二の液体を循環させる循環手段と、 前記ノズルの内部の負圧が増加するように、前記第二の液体の圧力を減圧する減圧手段と、を備え、 前記第二の液体を循環しない場合よりも前記減圧手段により前記負圧を増加させて、前記循環手段により第二の液体を循環させることを特徴とする液体吐出装置。
IPC (7件):
B05C 11/10 ( 200 6.01) ,  B41J 2/01 ( 200 6.01) ,  B41J 2/175 ( 200 6.01) ,  B05C 5/00 ( 200 6.01) ,  B05C 11/00 ( 200 6.01) ,  B05D 3/00 ( 200 6.01) ,  B05D 1/26 ( 200 6.01)
FI (9件):
B05C 11/10 ,  B41J 2/01 301 ,  B41J 2/175 113 ,  B41J 2/175 141 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  B05D 3/00 B ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 D
引用特許:
審査官引用 (4件)
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