特許
J-GLOBAL ID:202103008826566860

異物検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 田中 伸一郎 ,  ▲吉▼田 和彦 ,  須田 洋之 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  山本 泰史 ,  渡邊 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-142759
公開番号(公開出願番号):特開2021-025847
出願日: 2019年08月02日
公開日(公表日): 2021年02月22日
要約:
【課題】電磁波を使用して、様々な形状を有する異物も検出することができる異物検査装置を提供する。【解決手段】本発明は、電磁波を使用して、検査対象物(A)に混入した異物(C)を検出する異物検査装置(1)であって、検査対象物(A)に電磁波を照射するための電磁波発振器(2)と、この電磁波発振器(2)から照射され、検査対象物(A)を透過した電磁波が入射する電磁波検出面(6a)を備えた電磁波検出器(6)と、検査対象物(A)と電磁波検出器(6)の間に配置され、検査対象物(A)を透過した電磁波の干渉を誘発する周期構造板(8)と、電磁波検出器(6)によって検出された電磁波に基づいて、検査対象物(A)中の異物(C)の有無を判定する演算処理器(10)と、を有することを特徴としている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
電磁波を使用して、検査対象物に混入した異物を検出する異物検査装置であって、 検査対象物に電磁波を照射するための電磁波発振器と、 この電磁波発振器から照射され、上記検査対象物を透過した電磁波が入射する電磁波検出面を備えた電磁波検出器と、 上記検査対象物と上記電磁波検出器の間に配置され、上記検査対象物を透過した電磁波を透過させると共に、電磁波の干渉を誘発する周期構造板と、 上記電磁波検出器によって検出された電磁波に基づいて、上記検査対象物中の異物の有無を判定する演算処理器と、 を有することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件):
G01N 22/02 ,  G01N 22/00
FI (2件):
G01N22/02 B ,  G01N22/00 Q
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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