特許
J-GLOBAL ID：202103008938958540
基板搬送ロボットおよび基板処理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
名塚 聡
, 井上 満
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-538043
特許番号：特許第6850725号
出願日： 2016年08月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を保持して搬送するための基板搬送ロボットであって、
ロボットアームと、前記ロボットアームに装着された基板保持装置と、前記ロボットアームおよび前記基板保持装置を制御するための制御装置と、を備え、
前記基板保持装置は、複数のハンドを含み、前記ハンドの一つは単一の基板を保持するように構成された単一のブレード部材を有し、前記ハンドのもう一つは他の単一の基板を保持するように構成された他の単一のブレード部材を有し、前記単一のブレード部材と前記他の単一のブレード部材とは上下方向に配置され、
前記基板保持装置は、前記他の単一のブレード部材に対して上下方向に前記単一のブレード部材のみを移動させるように構成され、前記ハンドの一つの内部に配置されたブレード昇降手段をさらに有し、
前記制御装置は、前記単一のブレード部材および前記他の単一のブレード部材の一方を基板保持状態とし、前記単一のブレード部材および前記他の単一のブレード部材の他方を基板非保持状態として、上段および下段を有する基板載置構造に前記単一のブレード部材および前記他の単一のブレード部材の他方を進入させるブレード部材進入動作と、前記上段および前記下段の一方に載置された前記基板を前記基板非保持状態にある前記ブレード部材で受け取る基板受取り動作と、前記基板保持状態にある前記ブレード部材の前記基板を前記上段および前記下段の他方に載置する基板載置動作と、を前記ロボットアームおよび前記基板保持装置に実施させ、
前記基板保持装置は、前記単一のブレード部材および前記他の単一のブレード部材が上下方向に配置された第1稼働状態と、前記単一のブレード部材および前記他の単一のブレード部材が上下方向から外れた位置に配置され、単一の前記ブレード部材を前記基板載置構造に進入可能とする第2稼働状態とを切り換え可能に構成されており、
前記単一のブレード部材および前記他の単一のブレード部材は、共通の回転軸を有し、前記共通の回転軸を中心として互いに相対的に独立して回転するように構成されている、基板搬送ロボット。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B25J 9/06 ( 200 6.01)
, B25J 15/00 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, B25J 9/06 D
, B25J 15/00 C
