特許
J-GLOBAL ID:202103009073831820 塗布ノズル及び塗布装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-140459
公開番号(公開出願番号):特開2021-023837
出願日: 2019年07月31日
公開日(公表日): 2021年02月22日
要約:
【課題】塗布液としてスラリーを用いた場合でも凝集物が生じにくい塗布ノズル及びそれを備えた塗布装置を提供する。【解決手段】塗布ノズルは、スリット状の吐出口を持ったノズル本体と、スリット部と、流路と、を備える。スリット部は、ノズル本体内に設けられており、吐出口まで延びている。流路は、ノズル本体内において、スリット部の上流端の少なくも1箇所に直結しており、スリット部に塗布液を供給する。塗布装置は、上記塗布ノズルを備え、当該塗布ノズルから塗布液を吐出して塗布対象の表面に塗布膜を形成する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
スリット状の吐出口を持ったノズル本体と、
前記ノズル本体内に設けられており、前記吐出口まで延びたスリット部と、
前記ノズル本体内において、前記スリット部の上流端の少なくも1箇所に直結しており、前記スリット部に塗布液を供給する流路と、
を備える、塗布ノズル。
IPC (2件): FI (2件): Fターム (12件):
4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041CA03
, 4F041CA16
, 4F042AA02
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042BA12
, 4F042CB02
, 4F042CB19
, 4F042DF09
, 4F042DF24
引用特許: 審査官引用 (3件) - カーテン式塗布機
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-179780
出願人:アンドリッツキスタースゲーエムベーハー
- 膜状塗布ノズル、塗布装置および塗布方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-109047
出願人:武蔵エンジニアリング株式会社
- 塗布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2016-011435
出願人:凸版印刷株式会社
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