触媒パッド、その製造方法および製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：守田賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-036805
公開番号（公開出願番号）：特開2021-115692
出願日： 2020年03月04日
公開日（公表日）： 2021年08月10日
要約：

【課題】開口縁部分での触媒膜の剥がれを効果的に防止ないし低減して、良好な触媒基準の加工を可能とする触媒パッドを提供する。【解決手段】触媒基準の加工に使用する触媒パッド1であって、パッド基体11の表面に形成された流体供給溝2の、開口縁21の断面が曲面に形成されており、このようなパッド基体11の表面に触媒膜3が形成されて、パッド基体11と触媒膜3の熱膨張係数の相違により開口縁21に生じる応力が緩和されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

触媒基準の加工に使用する触媒パッドであって、パッド基体の表面に形成された開口の、少なくとも開口縁の断面が曲面に形成されており、このようなパッド基体の表面に触媒膜が形成されていることで、前記パッド基体と触媒膜の熱膨張係数の相違により前記開口縁に生じる応力が緩和されていることを特徴とする触媒パッド。

IPC (5件)：

B24B 37/26 , B01J 35/02 , B01J 37/00 , B01J 33/00 , H01L 21/304

FI (5件)：

B24B37/26 , B01J35/02 A , B01J37/00 K , B01J33/00 A , H01L21/304 622F

Fターム (22件)：

3C158AA07 , 3C158CA01 , 3C158CB06 , 3C158DA12 , 3C158EB01 , 3C158EB06 , 3C158EB20 , 3C158EB28 , 3C158EB29 , 3C158ED00 , 4G169AA03 , 4G169DA06 , 4G169EA08 , 4G169EB05 , 4G169ED10 , 4G169EE06 , 4G169FA02 , 4G169FB48 , 4G169FB74 , 5F057AA24 , 5F057DA03 , 5F057EB08

引用特許：

審査官引用 (5件)

研磨具及び研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-215415 出願人：国立大学法人大阪大学, 株式会社荏原製作所
スラリー流動性が向上された研磨パッドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2019-092048 出願人：エスケイシー・カンパニー・リミテッド
研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-360366 出願人：ロデール・ニッタ株式会社

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